# 2025年新品發(fā)布會(huì)#

日期：2025年10月10日

時(shí)間：8：30-18：30

近期我司新推出升級(jí)了EBARA荏原ESA500W干式真空泵作為大型腔室高速排氣的專(zhuān)用設(shè)備，其核心參數(shù)體現(xiàn)了高效能與可靠性的結(jié)合。該泵采用變螺距螺桿設(shè)計(jì)，抽速范圍覆蓋500-1000m3/h，極限真空可達(dá)0.1Pa，排氣溫度控制在60℃以下，顯著優(yōu)于傳統(tǒng)油封泵的能耗表現(xiàn)。其無(wú)油化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)避免了介質(zhì)污染，特別適用于半導(dǎo)體、光伏等對(duì)潔凈度要求嚴(yán)苛的領(lǐng)域。關(guān)鍵部件采用耐腐蝕合金材質(zhì)，配合間隙密封技術(shù)，在連續(xù)運(yùn)行中仍能保持穩(wěn)定的抽氣性能。此外，模塊化設(shè)計(jì)支持快速維護(hù)，背壓耐受能力達(dá)0.3barg，可適應(yīng)復(fù)雜工況下的氣體排放需求。 EBARA荏原ESA500W干式真空泵憑借其無(wú)油潔凈、高效節(jié)能的核心特性，在半導(dǎo)體制造、光伏電池生產(chǎn)等精密工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出不可替代的優(yōu)勢(shì)。其變螺距螺桿設(shè)計(jì)使抽氣效率提升30%，配合0.1Pa的極限真空度，能有效滿(mǎn)足晶圓蝕刻、薄膜沉積等工藝對(duì)超潔凈環(huán)境的要求。在光伏行業(yè)，該泵可快速排出鍍膜腔室內(nèi)的氣體殘留，避免傳統(tǒng)油泵導(dǎo)致的涂層污染，同時(shí)降低能耗成本。此外，其耐腐蝕材質(zhì)和間隙密封技術(shù)使其在化工制藥領(lǐng)域同樣適用，可安全處理含腐蝕性氣體或微小顆粒的介質(zhì)，如反應(yīng)釜排氣、溶劑回收等場(chǎng)景。模塊化設(shè)計(jì)進(jìn)一步擴(kuò)展了應(yīng)用范圍，特別適合需要頻繁維護(hù)的實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)或連續(xù)生產(chǎn)的工業(yè)線，成為高潔凈度 。