YAMAMOTO 山本鍍金 A-57 系列可編程精密電鍍電源技術解析

YAMAMOTO 山本鍍金 A-57 系列可編程精密電鍍電源技術解析

日本 YAMAMOTO-MS 山本鍍金A-57 系列一體化可編程精密電鍍電源，是 A-52 晶圓電鍍槽、A-56 燒杯電鍍槽、哈氏槽系統原廠標配主機，依托超細分調節分辨率、多段階梯程控、內置 PID 溫控、電腦聯機數據采集四大核心架構，實現電沉積全過程閉環精準管控，成為半導體先進封裝、MEMS 器件、電鍍藥水研發領域標準化研發供電平臺。

五大核心差異化技術優勢

1 超高細分調節分辨率，微觀鍍層精準可控

WA 版本達到微安級電流調節，線性低紋波輸出，抑制小電流輸出脈動干擾：

超薄鍍層（＜1μm）厚度公差可管控至 ±2% 以內；

TSV 高深寬比填孔過程電流平穩，減少孔口過鍍、內部空洞缺陷；

微量添加劑梯度試驗變量可控，大幅降低試驗數據離散度。

2 多段階梯程控工藝，全自動無人值守運行

機身內置分段編程邏輯，可自定義數十段步驟：設置電流 / 電壓值、運行時長、截止電量三種停機條件，自動執行 “預潤濕→打底電鍍→填充電鍍→加厚電鍍→斷電收尾" 整套制程，無需人員中途調整參數；長時間槽液老化、長周期電鍍試驗可連續自動運行，工藝一致性高度統一。

3 供電 + 溫控一體化集成，簡化系統搭建

無需額外采購外置溫控主機，機身直接輸出 1kW 加熱驅動信號，搭配槽體加熱探頭實現 PID 閉環恒溫（控溫精度 ±0.1℃）；電鍍啟停與加熱同步聯動，杜絕溫度滯后帶來沉積速率漂移，整套電鍍系統布線精簡，通風櫥布局更整潔。

4 Plate Laboratory 上位機系統，全流程數據溯源歸檔

WA 聯機版標配專屬控制軟件，核心功能：

實時采集、繪制電壓 / 電流 / 電量全過程曲線；

輸入鍍層厚度、電流效率參數，電鍍時長、膜厚仿真預判；

配方程序存儲、導出備份，不同批次試驗一鍵調用復刻；

數據 Excel 導出，適配論文撰寫、工藝審核、品質追溯合規要求。

5 一機雙用，兼容哈氏槽 + 晶圓電鍍兩大場景

單臺電源靈活切換兩套試驗體系：

接 B-56 哈氏槽：評估鍍液分散能力、光亮劑、整平劑、雜質耐受性能，篩選電流密度工藝窗口；

配套 A-52（STD/STH/UW）晶圓陰極系統：開展整片晶圓凸點、RDL 布線、背面金屬化、雙面電鍍工藝驗證，一臺設備覆蓋配方研發→試樣驗證全流程，降低實驗室設備投入成本。

電鍍參數精細化管控是良率提升核心前提。A-57 系列依靠超高分辨率輸出、分段自動程控、一體化溫控、電腦數據采集四大底層優勢，解決傳統電鍍試驗重復性差、操作繁瑣、數據無法歸檔痛點，是國內封測企業、材料廠商、高校實驗室晶圓電鍍研發標配供電設備。